针对现有检测手段难以解决的外观正常、又有电气连接的电子产品虚焊类缺陷的问题，本文采用脉冲红外热像检测方法获取温度数据，引入趋势分析法建立了虚焊类缺陷热像数据拟合曲线特征参量与不同虚焊程度缺陷之间的对应关系，成功解决了过余温度信号中难以辨识背景噪声和焊点缺陷信号的问题，提高了热像信号的分辨率和信噪比。
脉冲热像 虚焊焊点 趋势分析 pulse infrared thermal, pseudo soldering, trend an
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Abstract
Shandong Provincial Key Laboratory of Optics and Photonic Device & School of Physics and Electronics, Shandong Normal University, Jinan 250014, China
Transmission of an anisotropic metasurface is analyzed in a polar base relying on the Jones calculus, and polarization conversion from the spatial uniform polarization to the spatial nonuniform polarization is explored. Simple and compact polarization converters based on rectangular holes or cross holes etched in silver film are designed, and polarization conversions from the linear and circular polarization to the radial and azimuthal polarization are realized. Numerical simulations of three designed polarization converters consisting of rectangular holes equivalent to polarizers and quarter- and half-wave plates, exhibit the perfect polarization conversion. The experiment results consistent with the simulations verify theoretic predictions. This study is helpful for designing metasurface polarization converters and expanding the application of a metasurface in polarization manipulations.
Photonics Research
2019, 7(3): 03000246
广东工业大学物理与光电工程学院, 广东 广州 510006
为了满足微米量级印刷电路板(PCB)光刻的需求，提出了一种新型PCB 数字光刻投影成像技术。利用ZEMAX 光学设计软件设计并优化了双高斯结构型光刻投影物镜。该物镜具有双远心结构,可以避免数字微反射镜(DMD)偏转产生离焦，分辨率可达13.68 mm，数值孔径NA=0.045，焦深为200 mm，严格控制像面畸变量小于0.03%。采用DMD 多光束倾斜扫描技术，将DMD 旋转一定的角度，利用曝光点的位置与光斑重叠积分能量的多少，形成更小的像素尺寸，提高了网格精度。基于该投影成像技术进行了光刻实验，实验结果证实了该投影成像技术的可行性，通过控制网格精度既能实现整数像素以外的线宽又能提高图像的分辨率和光刻效率。
光学设计 光刻 镜头设计 数字微反射镜 倾斜扫描 成像系统 激光与光电子学进展
2015, 52(4): 042203
针对高精度数字光刻的缩微光学投影系统, 提出并设计了一种适用于 0.7XGA型数字微反射镜 (DMD)的 6片式数字光刻缩微投影物镜。通过优化和拼接三片式物镜结构, 得到数值孔径 NA=0.1, 放大倍率为 -0.255 8, 分辨力达 3.5 μm, 不受 DMD栅格效应影响且达到衍射极限的缩微物镜。经过 Zemax软件模拟得到其全视场光程差小于λ/5, 145 cycles/mm处的调制传递函数 (MTF)大于 0.58, 充分说明该缩微物镜已经达到光刻物镜设计要求。利用Monte Carlo分析方法, 模拟加工装配了 100组镜头, 设定空间频率为 145 cycles/mm时, 90%的镜头 FMTF>0.55,验证了加工装配实际可行。
数字光刻 缩微物镜 数字微反射镜 光学设计 digital lithography reduced lens DMD optical design
